Eigenvector Metal Etch（LAM 9600）
过于简单，但是经典，可以作为toy case使用，不可作为大case
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IIoT 饮料灌装产线数据集（Zenodo 2025
考虑做生产时序建模与质量管理相关的研究
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MixedWM38（混合型晶圆 Map）
考虑与WM811K综合使用，产出复合故障诊断论文
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LLM-as-forecaster 路线基本死
所以最近关于利用大模型做时序传统任务的论文要尽快处理完。不然越来越没有机会了，
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